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半導體製程

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發表於 2019-12-13 22:30:28 | 顯示全部樓層 |閱讀模式
因為找不到相關的板發文,所以發在這

想請問個位,如果製程做失敗,可以用顯影劑洗掉整個基板上的光阻,讓它變成跟新的一樣,以此重複使用嗎
還是說經過了曝光與蝕刻,板子的性能早已改變 我已經上網爬文,但找不到相關內容,煩請各位高手解答
發表於 2019-12-13 23:46:22 | 顯示全部樓層
光阻曝光顯影製作 Mask,到這段還有救,
之後在離子佈植過程中,Mask 遮擋不想被摻雜的區域....過了摻雜,性能已改變
 樓主| 發表於 2019-12-14 11:04:32 | 顯示全部樓層
SIMON1016 發表於 2019-12-13 11:46 PM
光阻曝光顯影製作 Mask,到這段還有救,
之後在離子佈植過程中,Mask 遮擋不想被摻雜的區域....過了摻雜, ...

原來如此,感謝您!
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