[轉貼] 為什麼全世界只有荷蘭能夠製造頂級光刻機

ericchou

隨機看的影片，轉給大家看看

為什麼全世界只有荷蘭能夠製造頂級光刻機
https://www.youtube.com/watch?v=jwlzrW0FRBc

fix2010

非常不错的片子！机遇、强强联合是成就ASML的制胜法宝。

stewart888

#快速回復#

oldtsui

早期ˊ6吋、8吋晶圓，Nikon還佔有一席之地，進入12寸之後只剩下ASML獨大了。
隨著線寬越來越小，曝光機(光刻機)是必要突破光線在空氣中傳導的障礙與誤差，所以台積電和ASML合作開發浸潤式曝光機，也因此台積電能夠第一時間取得數量龐大的機台，把老二遠遠拋在後面苦苦追趕。

在早期非浸潤式機台時期，曾和負責曝光機的工程師討論過機器最關鍵的部位在哪裡鏡頭與玻璃鍍膜。鏡頭最怕震動，萬一位置跑掉只能請ASML原廠來調教；又因為曝光光源能量極高，矽晶圓上各式各樣的化學物質被分解蒸發附著在鏡頭上，如何降低附著率、以及容易清除，就是各家的核心技術了...