請問一下.如果要看晶片裡的線路要用多大倍數的顯微鏡....?

ark · 發表於 2012-2-7 21:42:06

單純好奇.....有沒有人知道.......

test123 · 發表於 2012-2-8 02:47:57

32nm 製程...
nm = 10^-9 meter
放大到 1mm 解析度約需要 3萬倍
可見光波長 400~700 nm，
可見光光學顯微鏡無法顯示小於波長的構造，只能放大到 1200倍。

現在製程都已經快突破光學極限，必須改用電子束或更精密高能射線才能再集縮下去

RussellTuan · 發表於 2012-2-8 04:12:28

test123 發表於 2012-2-8 02:47 AM static/image/common/back.gif
32nm 製程...
nm = 10^-9 meter
放大到 1mm 解析度約需要 3萬倍

現在製程都已經快突破光學極限，必須改用電子束或更精密高能射線才能再集縮下去

請問是指光罩製造.或步進機steper的問題嗎?

IKURA · 發表於 2012-2-8 08:51:08

RussellTuan 發表於 2012-2-8 04:12 AM static/image/common/back.gif
現在製程都已經快突破光學極限，必須改用電子束或更精密高能射線才能再集縮下去

請問是指光罩製造.或步 ...

超過光源極限,所以是光源的問題.

draculaxx · 發表於 2012-2-8 10:13:42

本帖最後由 draculaxx 於 2012-2-8 10:22 AM 編輯

RussellTuan 發表於 2012-2-8 04:12 AM static/image/common/back.gif
現在製程都已經快突破光學極限，必須改用電子束或更精密高能射線才能再集縮下去

請問是指光罩製造.或步 ...

光源越強，繞射現像就會越小。繞射太嚴重的話，就是一片模糊。

據聞，好像已經用電腦在計算繞射的影響或利用繞射來製作光罩。十多年前已聽到要利用同步幅射做光源，只是費用太可觀。

業界早已利用紫外光當光源，且早就受制繞射現像，用可見光又怎能看到呢！！？？
（如果光的能量太強，其穿透力太強，這又會引出新的技術問題。）

ark · 發表於 2012-2-9 20:46:44

原來如此,感謝大大解惑..........

yctasy · 發表於 2012-4-2 13:47:28

"晶片"的線路??
線路層疊在一個區域上,而且其組成又不是電路板那麼簡單,真要看得懂才是厲害吧!!

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[教學文獻] 請問一下.如果要看晶片裡的線路要用多大倍數的顯微鏡....?

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